1樓：百度文庫精選
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高真空鍍膜機，鍍膜機是目前製作真空條件應用最為廣泛的裝置。其相關組成及各部件：機械泵、增壓泵、油擴散泵、冷凝泵、真空測量系統.
下面本人詳細介紹各部分的組成及工作原理。一、真空主體——真空腔根據加工產品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應用最多的有直徑1.3m、0.
9m、1.5m、1.8m等，腔體由不鏽鋼材料製作，要求不生鏽、堅實等，真空腔各部分有連線閥，用來連線各抽氣泵浦。
二、輔助抽氣系統此排氣系統採用「擴散泵+機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold」組成排氣流程為：機械泵先將真空腔抽至小於2.0*10-2pa左右的低真空狀態，為擴散泵後繼抽真空提供前提，之後當擴散泵抽真空腔的時候，機械泵又配合油擴散泵組成串聯，以這樣的方式完成抽氣動作。
排氣系統為鍍膜機真空系統的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。機械泵：也叫前級泵，機械泵是應用最廣泛的一種低真空泵，它是用油來保持密封效果並依靠機械的方法不斷的改變泵內吸氣空腔的體積，使被抽容器內氣體的體積不斷膨脹從而獲得真空。
機械泵有很多種，常用的有滑閥式（此主要應用於大型裝置）、活塞往復式、定片式和旋片式（此目前應用最廣泛，本文主要介紹）四種型別。7
2樓：匿名使用者
容器+真空系統+鍍膜系統+控制系統+(可選:充氣系統+離化系統)
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